点击图片查看原图Busch罗茨真空泵TYR WT 0280 CV
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体积流量698 – 1355 m³/h；
最大压差 (hPa (mbar))+1000 hPa (mbar)；
电机额定功率37.0 kW；
风机转速4100 min⁻¹；
进气口尺寸Ø 159mm；
重量（约）326kg；
Busch型号
Busch真空泵7AA100L 04K B14
Busch真空泵RA0302D503
Busch过滤器0532-000-508
Busch螺杆真空泵COBRANX0450/0650A
Busch真空泵RA0302D
Busch真空泵R5RA0025/0040F
TORRI BD 0100–0600 A
极限压力：min. 0.01 hPa (mbar) max. 0.001 hPa (mbar)
额定抽速：min. 100 m³/h max. 600 m³/h
用于 LOAD LOCK 的紧凑、高效解决方案。
灵活
对 load lock 腔体实现最短抽真空时间
高效
能耗低，维护工作量少，正常运行时间长
结构紧凑
尺寸小巧、重量轻盈
市场和应用
半导体生产
轻型
TORRI BD 0100A参数
额定抽速|100m2/h
极限压力|0.01 hPa（mbar）
前级泵电机额定功率|2.2kW
前级泵电机额定转速|5500min-1
极限压力时的功耗|0.4kW
噪声级（ISO2151）|<60dB（A）
耗水量|1.0l/min
重量（约）|60kg
尺寸（LxWxH）|450×230×275mm
进气口|DN50KF
排气口|DN25KF
Busch罗茨真空泵TYR WT 0280 CV