busch普旭

拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，直接水冷却等优点；

结构紧凑；密闭式设计；适用于轻型到中型半导体应用的理想解决方案；

先进的螺杆设计，钟形悬臂结构，荣获专利的自平衡螺杆，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于 load lock 腔和传送腔、计量、平版印刷术、物理气相沉积以及快速热退火以及和蚀刻工艺（如氧化物、硅和金属）等应用；

 

螺杆真空泵

自调节冷却装置

Busch型号

Busch真空泵RA0100F503S/N:D15450588

Busch泵R5 RA 0160-0302D

Busch螺杆真空泵COBRA BC 1000 F

Busch油分配器0531-000-002

Busch.0524108652

Busch真空泵R5A0040E

Busch真空泵SV1025C000
 

工作原理

在 干式 螺杆真空泵中， 两个螺杆转子 沿着相反方向旋转。泵送的介质被吸入泵缸和螺杆腔室之间

经压缩后输送至出口。在此过程中，螺杆转子不会相互接触，也不与泵腔接触。

可通过 风冷或水冷 实现冷却。

 

我们的螺杆真空泵产品组合

COBRA Industry  用于工业应用的干式螺杆真空泵

COBRA Semicon  用于中高真空应用的干式螺杆真空泵

 

用于化工与制药工艺的干式真空技术

真空在化工和制药工艺中发挥着至关重要的作用。无论是在真空输送、惰化、蒸馏还是干燥过程，对真空的利用无处不在，这可以确保加工过程更快更安全也更经济，或者纯粹只是为了确保相关过程得以实现。

产生真空的各种技术是通用的。数十年来，液环真空泵和蒸汽喷射器一直是产生真空的强大工具。

但是，就像使用循环油润滑的旋片真空泵一样，它们有一个缺点：它们需要工作液，而工作液会与工艺气体接触。

 

创新：干式螺杆真空泵

在 20 世纪 90 年代中期，Busch 普旭将第一台螺杆真空泵投入市场，即 COBRA。与之前使用的液环真空泵相比，主要区别在于 COBRA 螺杆真空泵无需工作液来压缩工艺气体。“干式”螺杆真空泵（图 1）的名字就是由此而来。现在，干式螺杆真空技术在化工和制药行业的应用也非常广泛。

 

工作原理

在螺杆真空泵中，两个互锁的螺杆形转子沿着相反方向旋转（图 2）。将吸入的工艺气体收集在泵缸和螺杆之间的腔室中，经压缩后输送至排气口。在压缩过程中，螺杆转子不相互接触，也不与泵缸接触。此工作原理得益于精良的制造工艺和运转部件之间的最小间隙，能够确保最小极限压力（绝对压力最高 0.01 毫巴）。

 

COBRA 螺杆真空泵与冷却系统同时运行，它可以确保整个泵体内热量均匀分配，热效率和稳定性更高。这样，选择温度时就可以确保其不至于过低而导致工艺气体凝结，也不至于过高而发生与温度相关的潜在问题，如气体沉积或自燃。

不使用工作液，在工艺室压缩时就不会发生污染或化学反应。